檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="藍寶石基板"
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本研究所採用的基板為藍寶石,將其經由表面處理後,使基板表面具有奈米圖騰化,再與可見光光觸媒氧化鉍作結合,而此奈米圖騰能將氧化鉍奈米化達到提升光催化效果,且對於未來藍寶石基板在光學應用上,除了能保有基…
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本文創新提出受研磨液影響藍寶石晶圓基板的化學反應之估算藍寶石晶圓基板化學反應層厚度的理論模式。本文亦進行原子力顯微鏡實驗,估算不同研磨液浸泡條件之比下壓能值。本實驗之研磨液條件為研磨液浸泡時間5分鐘…