檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="空氣軸承"
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本研究旨在開發一長行程閉迴路奈米定位平台系統,此平台使用雙框架兩軸獨立驅動單移動台機構,其中平台底座由空氣軸承支撐,使平台與花崗岩基座呈現非接觸狀態,驅動方式則由ANCA 5DX驅動器與PC-Bas…