檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="移相法"
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本研究成功開發一套創新的全域式晶圓翹曲量測系統,用以即時偵測待測晶圓的翹曲值及其表面形貌。此套晶圓翹曲量測技術以「疊紋」為技術核心,結合光柵自成像效應、瞬時相移法及四步移相法等設計概念進行開發,使系…