檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="磷化鎵"
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本論文為研究金(鍺)/磷化鎵(111)晶片經合金化製程後的微結構變化。實驗方式為使用熱蒸鍍法依序蒸鍍沈積Au、AuGe及Au三層金屬薄膜於磷化鎵晶片(111),再利用快速升降溫爐及傳統管狀爐作合金化…