檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="熱蒸鍍"
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本研究以熱蒸鍍方式在矽(100)基板上成長鐵之奈米結構,分別以蒸鍍源溫度、通氬氣壓力、蒸鍍時間作為製程參數。利用XRD進行試片結構分析、SEM觀察表面形態、EDS作元素分析及VSM觀測樣品磁性質。 …
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熱電薄膜發電器乃利用熱電效應,將溫度差轉為電能輸出。熱電薄膜發電器主要用微機電製程,利用熱蒸鍍沉積熱電薄膜並以濺鍍沉積鋁橋。量測方式以溫控式加熱器給予熱源,經由Agilent 34970A資料蒐集交…