檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="氮化鉻鋁矽"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究使用磁控濺鍍法鍍製不同矽含量之氮化鉻鋁矽與氮化鉻鈦鋁矽薄膜,並且針對矽含量對氮化鉻鋁矽與氮化鉻鈦鋁矽薄膜之微結構、機械性質與耐磨耗能力等性能進行分析。薄膜的晶相分析使用低掠角X光繞射儀進行分析…