檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="橫向解析度"
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以往相位量測法,常用於表面緩慢變化的量測,如平坦度的檢測,而對有階級差的表面,受限於不是連續性的變化,因此不易進行。 本研究內容利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀,同時將光學顯微鏡與相位量測相…
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本研究以相位量測的方式,針對微奈米級階級性表面進行量測,利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀,同時將光學顯微鏡與相位量測相關原理結合,並加入相位移技術的四相位法,提高整個系統的解析度。在實驗上使…