檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="材料科學與工程系" and ckeyword.raw="電學性質"
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為探究使用反應式真空濺鍍機製備氮化鋁銦鎵薄膜的制程,與分析此制程下沉積之薄膜的性質。此論文設定兩組不同鋁銦比例的靶材,一組靶材包含摩爾百分比固定5%鋁,銦含量從7.5%、15%、25%的三個陶金靶,…