檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="化學氣相沉積法"
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本論文研究主要在於利用水平式高溫爐化學氣相沉積法成長氮化鎵及其相關的一維奈米線材料。在氮化鎵奈米線的成長上,主要使用乙醯丙酮鎵(III)(Gallium(III) acetylacetonate)與…
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本研究目的在於利用化學氣相沉積以低溫製程下分別在玻璃、藍寶石、n型氮化鎵磊晶板以及p型氮化鎵磊晶板成長低電阻率且具有光學散射特性之粗糙表面摻鎵氧化鋅薄膜,以期望取代氧化銦錫作為藍光發光二極體之透明導…