檢索結果:共3筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="洪儒生" and ckeyword.raw="石墨"
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本論文針對碳化矽的低溫製備,考慮利用具有低共晶點的金屬矽化物合金作為合成碳化矽的矽來源,利用金屬矽化物合金比起原始組成之金屬有熔點急劇下降的特性,期望在較低的溫度下使其與活性碳反應來生成碳化矽鍵…
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本論文針對碳化矽的低溫製備,考慮利用矽化物合金的低融點特性,期望在較低的溫度下使其與活性碳物種反應來生成碳化矽鍵結。 本研究將採用電子束與熱蒸鍍法共蒸鍍石墨與金矽/鋁矽合金,分別於合金共晶溫度(36…
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本研究乃以四甲基矽烷(TMS)、氨氣、氫氣為原料氣體的內熱式低壓化學氣相沈積系統,藉由碳化矽/氮化矽複合膜沉積於石墨基材上,作為石墨與碳化矽覆膜間的熱應力緩和傾斜層。利用在氫氣氣氛下控制原料TMS對…