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cadvisor.raw="洪儒生" and ckeyword.raw="甲基三氯矽烷"
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1
以甲基三氯矽烷為前驅物化學氣相沉積β相碳化矽薄膜的成長機構之研究
化學工程系
/110/ 碩士
研究生: 周冠宏
指導教授:
洪儒生
點閱:425
下載:0
全文公開日期 2025/08/29 (校內網路)
全文公開日期 2027/08/29 (校外網路)
全文公開日期 2027/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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2
以MTS-CVD高產率製備β-SiC薄膜之動力學探討
化學工程系
/109/ 碩士
研究生: 李柏陞
指導教授:
洪儒生
點閱:319
下載:0
全文公開日期 2026/10/18 (校內網路)
全文公開日期 2026/10/18 (校外網路)
全文公開日期 2026/10/18 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
加入清單
1
關鍵詞
熱壁式化學氣相沉積法
2
甲基三氯矽烷
2
碳化矽
2
反應動力學
1
長膜動力
1
系所
化學工程系
2
指導教授
洪儒生
2
畢業學年度
110
1
109
1