檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="李三良" and ckeyword.raw="準直透鏡. 分光元件像散透鏡"
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本論文主要是探討三種繞射元件的微製程分析,元件分別為準直透鏡、分光元件與像散透鏡。將連續表面的元件量化為多階的表面結構以利於採用半導體製程技術製造,目的在於將階梯化結構的繞射元件製造在矽基板上組成完…