檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="朱瑾" and ckeyword.raw="非晶薄膜"
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本論文主要研究方向為利用氧化物(鈧酸鈥,HoScOx)非晶薄膜作為擴散阻障層以提升銅鍍層在矽上的高溫穩定性質。結果顯示HoScOx(x=3~4)具有高溫穩定性且為非晶薄膜,其結晶溫度高達900℃以上…
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現今薄膜機械性質分析,多著重於硬度、彈性系數和附著性質等,而薄膜在製作或是使用過程中若產生破裂,會嚴重影響薄膜性能,因此破裂韌性(fracture toughness)亦為薄膜相當重要的機械性質之一…