檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="朱瑾" and ckeyword.raw="磁控濺鍍"
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本研究是採用射頻磁控濺鍍法於康寧玻璃型號1737 基板沉積微晶矽鍺薄膜,使用的靶材為鍺錠貼附於矽靶上並控制鍺元素原子比20 % 來共鍍沉積,在沉積過程中加熱基板至150oC,並控制不同的氫氣與氬氣的…
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目前市面上已被廣泛使用的記憶體,如:動態隨機存取記憶體(DRAM, Dynamic Random Access Memory)及快閃記憶體(flash memory)等,在元件的尺寸大小及密度都已達…