檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="周振嘉" and ckeyword.raw="氮化鋁"
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本研究目的在於設計一陶瓷膜取代LIGA製程中所使用的高分子光阻,實驗初期以薄膜電阻率為首要考量條件,篩選現有的商用陶瓷鍍層,並選用薄膜電阻率最高的氮氧化鈦薄膜與次高的碳氮化鉻薄膜作為取代高分子光阻之…