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本研究利用改良式溶膠-凝膠(sol-gel)法製備鋯鈦酸鉛(PZT)粉末,並使用低溫CO2雷射退火製程於SUS 430不鏽鋼基板上鍍製PZT鐵電厚膜。 首先,利用傳統爐管於550℃製備PZT粉末(…