檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林麗瓊" and cdept.raw="機械工程系"
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在本論文中,我們研究使用微波輔助化學氣相沉積系統來成長奈米鑽石薄膜於矽及鈮酸鋰基板上,藉由控制溫度、氣體組成及成長壓力,我們可得到表面平坦且品質良好的鑽石薄膜。 鈮酸鋰有很高的機電耦合係數,和奈米鑽…