檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="線放電加工" and ckeyword.raw="變異數分析" and ckeyword.raw="輔助電極"
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本研究之創新為在既有線放電加工製程上建立不同厚度的輔助電極,並於矽晶圓基材上串聯輔助電極並加工,進而分析此試片特徵之加工誘發電流、表面合金化以及表面粗糙度。其中利用全因子實驗方法(Full-fact…