檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="界面氧化層AlOz" and ckeyword.raw="電阻式記憶體" and ckeyword.raw="電阻式記憶體"
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本研究以積體電路相匹配之Al、TaN作為上、下電極,以取代昂貴之白金(Pt)作為電極,並採用微波電漿氧化或反應式濺鍍製備中間電阻層TaOxNy,製成Al/TaOxNy/TaN、TaN/TaOxNy/…