檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="殘留應力" and ckeyword.raw="殘留應力" and ckeyword.raw="氧化鋅"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生,而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度,且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化,進而使得薄膜產生與基材剝離的…