檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="散射量測" and ckeyword.raw="數據集擴增" and ckeyword.raw="數據集擴增"
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半導體製程技術的進步促使元件結構的微縮,除了對製程技術迎來更大的挑戰,同時也需要更有效率的量測方法來驗證製程結果。關鍵尺寸(Critical dimension)量測技術是驗證製程標準的關鍵步驟。傳…
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半導體製程技術的持續進步使得元件結構逐漸微縮,不僅為製程技術帶來更大挑戰,同時也促使量測方法需更加高效以確保製程質量。特徵尺寸(Critical Dimension, CD)量測是製程驗證中不可或缺…