簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="散射量測" and ckeyword.raw="數據集擴增" and ckeyword.raw="數據集擴增"


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    基於有限影像集量測一維週期性特徵尺寸
    • 自動化及控制研究所 /111/ 碩士
    • 研究生: 林耘頡 指導教授: 郭鴻飛
    • 半導體製程技術的進步促使元件結構的微縮,除了對製程技術迎來更大的挑戰,同時也需要更有效率的量測方法來驗證製程結果。關鍵尺寸(Critical dimension)量測技術是驗證製程標準的關鍵步驟。傳…
    • 點閱:344下載:4

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    光學特徵尺寸量測資料集擴增模型開發
    • 自動化及控制研究所 /112/ 碩士
    • 研究生: 莫大正 指導教授: 郭鴻飛
    • 半導體製程技術的持續進步使得元件結構逐漸微縮,不僅為製程技術帶來更大挑戰,同時也促使量測方法需更加高效以確保製程質量。特徵尺寸(Critical Dimension, CD)量測是製程驗證中不可或缺…
    • 點閱:109下載:0
    • 全文公開日期 2026/07/18 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/07/18 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/07/18 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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