檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="多目標蟻群演算法" and ckeyword.raw="多目標蟻群演算法" and ckeyword.raw="自動編碼器"
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近幾十年來半導體業廣泛應用微影技術將電路設計的圖形轉印至矽晶圓基板上,但隨著關鍵尺寸(Critical Dimension)的日漸微縮,物理的極限以及因越趨複雜的設計進而產生的曝光缺陷皆是製程上必須…