檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="四氟化碳電漿" and ckeyword.raw="指叉狀微電極" and ckeyword.raw="細胞重量"
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本研究利用半導體黃光微影技術,以石英為基材,製作壓電式IDA微金電極,IDA微金電極之線寬與長度分別為7.894 μm與2245.3 μm。本論文研究分成三部分:(1) 以二氧化矽保護層與四氟化碳 …