檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="原子力顯微鏡" and ckeyword.raw="反覆控制器" and ckeyword.raw="壓電致動器"
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原子力顯微鏡系統主要採用高響應速度與高解析度的壓電致動器作為致動元件,常用於樣品表面之形貌輪廓掃描;此系統一般在固定幀率掃描下會產生周期性誤差,故有研究者提出以反覆控制器進行伺服設計來改良掃描成果。…