檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="半導體加工技術" and ckeyword.raw="半導體微影製程" and ckeyword.raw="微電極陣列探針"
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本研究利用半導體微機械加工製程技術製備植入型微電極陣列感測探針,其中包含光罩設計與半導體加工製程兩大重點方向,在光罩設計方面,我們以繪圖軟體Auto CAD設計繪製光罩上元件圖樣,本製程包含三道光罩…