檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="光柵耦合" and ckeyword.raw="矽光子" and ckeyword.raw="矽光子"
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此論文之矽光子元件製作及模擬皆採用絕緣層上覆矽 (Silicon-on-insulator, SOI)基板。因其具備高折射率係數之特性,可大幅縮小元件體積,而且製程可與互補式金屬氧化物半導體 (Co…