2
|
金屬玻璃鍍層鑽石切割刀提升晶圓切削能力與良率之改善
-
材料科學與工程系
/109/ 碩士
-
研究生:
章家維
指導教授:
朱瑾
-
本研究是少數以金屬玻璃鍍層(Thin Film Metallic Glass, TFMG)的低摩擦係數(Low coefficient of friction, CoF)優良特性來提升鑽石切割刀在晶…
-
點閱:480
下載:0
- 全文公開日期 2026/08/25 (校內網路)
- 全文公開日期 2026/08/25 (校外網路)
- 全文公開日期 2026/08/25 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
|