檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="位移" and ckeyword.raw="數位微影" and ckeyword.raw="莫爾條紋"
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在線路圖案的定義過程,無論是使用什麼型態的曝光系統,對準量測技術皆為關鍵的製程步驟,在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率,進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中,發現使用數位…