檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="三氯矽甲烷" and ckeyword.raw="熱壁式化學氣相沉積法" and ckeyword.raw="碳化矽"
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本論文中針對三氯矽甲烷(MTS)為原料在氫氣氣氛下化學氣相沉積β相碳化矽薄膜的反應機制進行量化模型之探討。首先以一簡化的模型,即僅考慮MTS氣相解離生成一中間產物並貢獻長膜的逐次反應型式,對熱壁式水…