檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="γ\u002DGPS" and ckeyword.raw="低介電係數" and ckeyword.raw="電漿輔助化學氣相沉積系統"
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本論文的長膜實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲苯(C7F8)為原料先驅物,藉由傳統平板式電漿輔助化學氣相沉積系統來成長低介…