檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="表面形貌" and ckeyword.raw="頻差觸發法"
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本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」,用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念,結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…