檢索結果:共7筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="薄膜太陽能電池" and ckeyword.raw="薄膜太陽能電池"
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數反應壓力及三甲基硼(TMB)摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以探求非晶…
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本論文之研究是以亞硒酸銅銦鎵前驅物進行水系漿料調配,並以刮刀塗佈沉積薄膜。研究內容,主要可分為四部份。第一部分著重於微波合成製程放大,以更大之微波反應器,透過微波功率、反應溫度及時間之調整,可有效合…
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本論文之研究方向主要分為四元CuIn1-xGaxSe2奈米材料之合成及電泳沉積製備CuIn1-xGaxSe2薄膜之兩個部分進行。首先,於材料合成之研究中,吾人成功建立以微波水熱法合成四元CuIn1-…
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本研究係用射頻電漿系統沉積氫化非晶矽薄膜,調變製程重要參數如氫氣稀釋比、基材溫度、工作壓力以及電極間距等,藉由傅立葉轉換紅外光光譜儀(FT-IR)以及紫外光/可見光光譜儀(UV-VIS)等分析方法,…
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本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜,同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化,並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數如基材溫度、反應壓力及甲烷摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以設計出非晶…
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本研究以三甲基硼(TMB)為摻雜物,使用射頻電漿輔助化學氣相沉積系統(RF-PECVD)於玻璃基材上成長p型非晶碳化矽以及p型微晶矽薄膜,並分析其結構及光電性質,期望能製備出適用於薄膜太陽能電池的p…