檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="氮化銦鎵" and ckeyword.raw="氮化銦鎵"
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關鍵字;氮化銦鎵、奈米線、有機金屬化學氣相沉積 本研究選用在低溫即具有分解能力的聯胺系列化合物-二甲基聯胺(DMHy)來取代反應性低的氨氣(NH3),同時以分解溫度較低之鎵源-三乙基鎵(TEGa)…
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本研究利用原子層磊晶(ALE)技術合成氮化鎵(GaN)及氮化銦鎵(InxGa1-xN)三元混晶膜。以二乙基一氯鎵(DEGaCl)及氨氣(NH3)作為反應原料,並選用已成長氮化鎵的藍寶石磊晶片為基材,…