檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="氫化非晶矽" and ckeyword.raw="自主裝單分子"
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本研究為使用鋁金屬誘發結晶法於非晶矽薄膜中,經由加熱退火後促使非晶矽轉化成多晶矽,使用此方法之優點為可在簡易、低成本的製程中得到晶粒較大之多晶矽薄膜,其中誘發的製程若為操作在低溫下,又可稱為低溫鋁誘…