檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="光電工程研究所" and ckeyword.raw="快速熱退火後處理" and ckeyword.raw="電漿後處理"
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本研究分為兩個部分,第一部份探討石墨烯堆疊不同層數於矽奈米線基板結構之氨氣感測器,並進行物性和電性分析;第二部份探討雙層石墨烯/PSG-SiNWs/RTA複合奈米結構之氨氣感測器,並進行物性和電性分…