檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="自動化及控制研究所" and cdept.raw="自動化及控制研究所" and ckeyword.raw="長波通濾光片"
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本研究主分為兩大部分,一、設計蒸鍍腔體內之大型遮板,其目的為改善膜厚均勻性,提高薄膜生產良率;二、線性漸變濾波片的設計,在基材上方加入擋片,使膜厚有梯度變化,達到濾波效果。 在第一部分,為使腔體內膜…