檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="脈衝直流磁控濺鍍"
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本實驗使用脈衝直流磁控濺鍍系統在200℃及400℃二種環境下鍍製出兩個系列共10批Cr-Si-C-N奈米複合薄膜,鍍製時通入四甲基矽烷(TMS)為前驅物作為薄膜內矽與碳的來源,在製程中逐漸提升TMS…