檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="線上光學檢測"
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本研究建構一套準分子雷射退火矽膜再結晶特性之線上光學檢 測系統,可以線上即時檢測出非晶矽薄膜於準分子雷射退火期間反射率與穿透率之變異性,進而分析相關物理現象並提出矽膜之相變化機制。藉由線上光學檢測系…
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因本實驗室所建立的線上光學檢測系統於準分子雷射退火矽膜所擷取之反射率與穿透率波形,如能利用TEM斷面分析互相驗證,並觀察矽膜退火後之微結構變化將能更確定矽膜的成長機制,也間接肯定其系統的正確性,故本…