檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="無光罩微影系統"
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光學加工已經是目前科技中相當重要的一環,其中光微影製程為最重要的積體電路或微機電元件生產技術,由於元件開發往「輕、薄、短、小、低成本」的趨勢進行製程的開發;在微影製程中,傳統的方式已經無法再將尺寸縮…
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先前台灣科技大學光電加工實驗室之顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統(Maskless Photolithography System)之解析度僅能到…