檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="氮化鉭"
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摘 要 本研究探討高氮量氮化鉭(TaN1+x)薄膜於矽基材之系統中,TaN1+x/Si界面微結構及反應,研究中採用Si(111) 5英吋晶圓為基板,以濺鍍方式沈積氮化鉭金屬薄膜30 nm,於…
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摘 要 本研究探討氮化鉭薄膜於鉻/氮化鉭/矽之系統中,其鉻/氮化鉭/矽界面微結構及反應,期望對氮化鉭薄膜於金屬鉻的阻障層作用有更進一步的了解。 研究採用12英吋Si(100)晶圓為基板,以濺…