檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="氧化鋅焦電感測器"
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焦電薄膜感測器乃利用焦電效應,將溫度變化轉為焦電訊號。焦電感測器之焦電響應為感測器優劣之重要指標,其中影響焦電響應主要因素為焦電薄膜品質,而薄膜品質與薄膜之表面形貌、晶格結構及殘留應力等息息相關。本…