檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="氣流夾層"
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由於目前LCD面板的需求量越來越大,為了提升產品的良率且降低製造成本,於是本文以垂直層流式面板儲存櫃為研究課題,深入探討其中之氣流夾層區域,並著重於內部流場與污染粒子排除的分析;期望以不變動內部元件…
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本文以半導體製程設備中之微環境為主要研究方向,深入探討晶 圓廠中主要生產設備--直立式爐管之晶舟與晶圓裝載區域,著重於裝 載區域內部流場與污染粒子分佈的探討,期望能在設計無塵室之微環 境時,藉助電腦…