檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="黑晶片"
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本論文主要探討矽晶黑晶片表面抗反射結構的製作及其以原子層沉積氧化鋁作為黑晶片表面鈍化的機制。首先我們嘗試找出以水為氧源及三甲基鋁為鋁源的熱原子層沉積法合成氧化鋁膜的自我限制成長條件。結果發現,在基材…
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本論文主要探討黑晶片的蝕刻條件來達到低反射率,同時探討清洗方式對黑晶片的影響來達到低反射率且高載子生命週期的黑晶片。以我們蝕刻液的配方,我們發現在p-type FZ晶片上成長黑晶片結構時,反射率不會…