檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="電漿輔助原子層沉積"
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在矽晶太陽電池中晶片表面鈍化及抗光反射為重要的關鍵技術。本研究以原子層沉積法沉積氧化鋁薄膜於矽晶片表面上作為鈍化之使用。首先以電漿輔助原子層沉積系統及熱原子層沉積系統製備氧化鋁薄膜,研究重點為探討氧…