檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="銅製程"
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以RF濺鍍來成長TaNx薄膜並觀察N2/Ar流量比對TaNx薄膜之沈積速率、N/Ta原子比、電阻率及結晶結構之影響。實驗結果顯示TaNx薄膜的沈積速率會隨著N2/Ar流量比的增加而下降;TaNx薄膜…