檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="矽烷薄膜"
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本論文之研究目的,為利用常壓電漿沉積兩種不同的前驅物:六甲基二矽氧烷 (hexamethyldisiloxane, HMDSO) 以及三乙氧基矽烷 (3-aminopropyltriethoxyls…