檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="微加工製程"
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本研究利用半導體製程技術研發製備植入型微電極陣列探針,其中所應用的半導體製程包括加熱、微影、薄膜、蝕刻等,並針對每個步驟進行最佳化,進而製備出精密、微型、高產量、低成本的微電極陣列探針。製程主要可分…