檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="戴龑" and ckeyword.raw="紫外光光電子光譜儀" and ckeyword.raw="紫外光光電子光譜儀"
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本研究主要為設計、組裝、測試真空製程及分析系統。此系統分為三部分,其一為前置樣品傳送腔體(Load-lock chamber),可快速傳送樣品進入其他腔體;其二為製程腔體,包含電子蒸鍍槍(Elect…