檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林顯群" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="粒子"
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本文以半導體製程設備中之微環境為主要研究方向,深入探討晶 圓廠中主要生產設備--直立式爐管之晶舟與晶圓裝載區域,著重於裝 載區域內部流場與污染粒子分佈的探討,期望能在設計無塵室之微環 境時,藉助電腦…