檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="張復瑜" and cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="矽晶圓裂片"
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飛秒雷射具有超短脈衝以及光能量密度極高的特性,且擁有特殊的光化學材料剝離機制。這些特性使其有別於一般雷射而有加工熱影響區小、加工尺寸精密度高、以及熱應力低所帶來的內部加工優勢。利用這些特點,本研究以…